無(wú)塵干凈室的氣流速率/換氣次數(shù)，一直是干凈室計(jì)劃中遭到存眷的成績(jī)，跟著干凈室凈化源的節(jié)制后果增長(zhǎng)及末級(jí)過(guò)濾器效力的提高級(jí)，對(duì)無(wú)關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、導(dǎo)則等提出的保舉或參考值能否偏于守舊，已有很多評(píng)論辯論;FFU在利用中人們擔(dān)憂(yōu)的樂(lè)音、毀壞培修等成績(jī)已在實(shí)踐中獲得辦理，跟著FFU的賡續(xù)改良，對(duì)能否采納FFU回風(fēng)體系也是個(gè)熱門(mén)：懸浮份子凈化(AMC)的節(jié)制在微電子及IC產(chǎn)業(yè)中已日趨提到日程下去，遭到存眷。
無(wú)塵干凈室內(nèi)必定干凈度下氣流速率的肯定，隨干凈室用處等詳細(xì)環(huán)境而異，它不只受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效力還受其余身分影響，就產(chǎn)業(yè)干凈室而言，影響干凈度及抉擇氣流速率的身分主如果：
(1)室內(nèi)凈化源：建筑物組件、職員數(shù)目及操縱運(yùn)動(dòng)、工藝裝備、工藝材料及工藝加工自己等都是塵粒開(kāi)釋源，根據(jù)詳細(xì)環(huán)境而異，變更很大。
(2)室內(nèi)氣流流型及散布：?jiǎn)蜗蛄髡?qǐng)求平均、對(duì)等的流線(xiàn)，但會(huì)遭到工藝裝備安排和地位更改及職員運(yùn)動(dòng)環(huán)境等的滋擾構(gòu)成部分渦流;而非單向流請(qǐng)求充混雜，防止死角及溫度分層。
全國(guó)服務(wù)熱線(xiàn)：028-8746813013981861088
